近傍磁界測定の原理

近傍磁界測定の原理

近傍磁界測定はループアンテナを測定試料に近づけループアンテナに発生する起電力を測定することにより行います。 起電力はファラデーの法則により磁束密度を時間微分したものをループ面積で積分したものです。 磁束密度が正弦波状に変化するとき起電力はμ=ωIScosωt/Lの式で表わされます。 この式から測定試料とアンテナの距離およびループ面積が小さいほど周囲磁界の影響が小さく配線分解能が向上することが分かります。